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韩华Q Cells对SoLayTec旗下ALD技术进行评估

来源:网络 作者: 时间:2021-07-03

  近期被Amtech系统公司收购的设备企业SoLayTec表示,其与韩华Q Cells就公司ALD(原子层沉积)系统的合作日前进入了评估测试阶段。

  SoLayTec公司表示,韩华Q Cells将在其位于德国塔尔海姆的总部,使用先进技术设备对SoLayTec旗下InPassion系列ALD系统在高效上的表现进行评估。

  “我们的目标是向产业表明,在晶硅太阳能电池的钝化工艺中使用空间ALD解决方案,相较于PECVD氧化铝具有更高的潜力。” SoLayTec公司联合创始人之一Roger Görtzen表示,“我们的空间ALD工具相较于PECVD所具有的最大的优势包括:较大的解阶梯覆盖、稳定的均匀性和三氧化二铝所要求的仅为5nm的叠层厚度。此外,如果在ALD电池工艺中,在SiN封层上直接使用PECVD,则可采用集成退火工艺,其最终制成的电池性能要比PECVD氧化铝工艺好得多。”

  SoLayTec旗下的ALD技术已经被美国的Mission Solar相中,并购买用来生产N型单晶双面太阳能电池,该产品预计将在2015年现半年进入量产阶段。

  Görtzen先生还指出公司在此次评估流程开始前已与韩华Q Cells进行了多年的对话沟通。

  韩华SolarOne对韩华Q Cells的收购正在进行当中,但预计韩华Q Cells在整个集团中将继续保持其先进技术驱动地位。


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